Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники: (02.00.02): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти "Гиредмет"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Савчук, С. А. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29981440000 | ||
| 005 | 20070614124003.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [91-8329а] |
| 100 | # | # | $a 20070614d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники $e (02.00.02) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти "Гиредмет" |
| 210 | # | # | $a М. $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 17 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Савчук $b С. А. $g Сергей Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070614 $g psbo |