Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники: (02.00.02): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти "Гиредмет"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Савчук, С. А. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||