Разработка пиролитического метода получения окисных пленок и пленочных композиций, исследование их свойств и применение в некоторых микроэлектронных устройствах: (299): Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ин-т радиотехники и электроники АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рябова, Л. А. |
| Опубликовано: | М. , 1969 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29872670000 | ||
| 005 | 20070611175128.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [69-10176] |
| 100 | # | # | $a 20070611d1969 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка пиролитического метода получения окисных пленок и пленочных композиций, исследование их свойств и применение в некоторых микроэлектронных устройствах $e (299) $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Ин-т радиотехники и электроники АН СССР |
| 210 | # | # | $a М. $d 1969 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 686 | # | # | $a 299 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рябова $b Л. А. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070611 $g psbo |