Разработка пиролитического метода получения окисных пленок и пленочных композиций, исследование их свойств и применение в некоторых микроэлектронных устройствах: (299): Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ин-т радиотехники и электроники АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рябова, Л. А. |
| Опубликовано: | М. , 1969 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||