Изменение электронной и кристаллической структуры кремния при имплантации ионов низких энергий: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН УзССР, Ин-т электрон. им. У. А. Арифова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рысбаев, А. С. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1987 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29846290000 | ||
| 005 | 20070611180801.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [87-9605а] |
| 100 | # | # | $a 20070611d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Изменение электронной и кристаллической структуры кремния при имплантации ионов низких энергий $e (01.04.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН УзССР, Ин-т электрон. им. У. А. Арифова |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рысбаев $b А. С. $g Абдурашит Сарбаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070611 $g psbo |