Изменение электронной и кристаллической структуры кремния при имплантации ионов низких энергий: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН УзССР, Ин-т электрон. им. У. А. Арифова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рысбаев, А. С. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1987 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||