Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов: Учеб. пособие / Иванов. хим.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рыбкин, В. В. |
| Опубликовано: | Иваново , 1989 |
| Физические характеристики: |
96 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29811510000 | ||
| 005 | 20200828131233.0 | ||
| 010 | # | # | $d 20 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [90-47304] |
| 100 | # | # | $a 20070611d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов $e Учеб. пособие $f Иванов. хим.-технол. ин-т |
| 210 | # | # | $a Иваново $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 96 с. $c рис. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 92-96 (65 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.382.002:621.794.4(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Рыбкин $b В. В. |
| 701 | # | 1 | $a Светцов $b В. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070611 $g psbo |