Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов: Учеб. пособие / Иванов. хим.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рыбкин, В. В. |
| Опубликовано: | Иваново , 1989 |
| Физические характеристики: |
96 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||