Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Розеиталь, Г. О. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29540630000 | ||
| 005 | 20070606193717.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [89-16731а] |
| 100 | # | # | $a 20070606d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава $e (05.13.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Моск. ин-т стали и сплавов |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23-24 (8 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Розеиталь $b Г. О. $g Георг Оскапович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070606 $g psbo |