Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Розеиталь, Г. О. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||