Исследование электрофизических свойств кремниевых МОП-структур на основе диэлектрических пленок двуокиси кремния и окислов редкоземельных элементов: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рожков, В. А. |
| Опубликовано: | Саратов , 1973 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||