Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок: (298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / АН СССР. Ин-т геохимии и аналит. химии им. В. И. Вернадского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рамендик, Г. И. |
| Опубликовано: | М. , 1970 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29221330000 | ||
| 005 | 20070604163042.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [70-11608а] |
| 100 | # | # | $a 20070604d1970 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок $e (298) $e Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f АН СССР. Ин-т геохимии и аналит. химии им. В. И. Вернадского |
| 210 | # | # | $a М. $d 1970 |
| 215 | # | # | $a 20 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 20 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 298 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рамендик $b Г. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070604 $g psbo |