Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок: (298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / АН СССР. Ин-т геохимии и аналит. химии им. В. И. Вернадского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рамендик, Г. И. |
| Опубликовано: | М. , 1970 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||