Исследование и разработка методов плазмохимической обработки поверхности слоев кремниевых БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 4999/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Путря, М. Г.
Опубликовано: М. , 1965
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
4999/86СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:67 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал