Исследование и разработка методов плазмохимической обработки поверхности слоев кремниевых БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Путря, М. Г. |
Опубликовано: | М. , 1965 |
Физические характеристики: |
25 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|