Деформирование пластин, структурные превращения и поведение примеси в ионно-легированном кремнии при импульсном фотонном отжиге: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: 141167/91СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Прохоренко, Н. Л.
Опубликовано: Мн. , 1991
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr28952900000
005 20070530125121.0
100 # # $a 20070530d1991 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
200 1 # $a Деформирование пластин, структурные превращения и поведение примеси в ионно-легированном кремнии при импульсном фотонном отжиге  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (05.27.01)  $f АН БССР, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1991 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: 16 (10 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Прохоренко  $b Н. Л.  $g Николай Леонович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070530  $g psbo