Деформирование пластин, структурные превращения и поведение примеси в ионно-легированном кремнии при импульсном фотонном отжиге: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Прохоренко, Н. Л. |
| Опубликовано: | Мн. , 1991 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||