Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пресс, Ф. П. |
| Опубликовано: | М. : Энергия , 1968 |
| Физические характеристики: |
200 с. : илл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28846810000 | ||
| 005 | 20070529190934.0 | ||
| 010 | # | # | $b В пер. $d 79 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [68-70239] |
| 100 | # | # | $a 20070529d1968 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов |
| 210 | # | # | $a М. $c Энергия $d 1968 |
| 215 | # | # | $a 200 с. $c илл. $d 21 см |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 191-199 |
| 345 | # | # | $9 8000 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Фотолитография |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводниковые приборы - Производство |
| 675 | # | # | $a 621.382.002 |
| 700 | # | 1 | $a Пресс $b Ф. П. $g Феликс Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |