Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пресс, Ф. П. |
| Опубликовано: | М. : Энергия , 1968 |
| Физические характеристики: |
200 с. : илл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 2 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||