Технология гетерогенного синтеза диэлектрических пленок на поверхности кремния в реактивной газовой среде с управляемым ионным облучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пранявичене, Г. Б. |
| Опубликовано: | Каунас , 1986 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28829730000 | ||
| 005 | 20220316115925.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1986 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Технология гетерогенного синтеза диэлектрических пленок на поверхности кремния в реактивной газовой среде с управляемым ионным облучением $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса |
| 210 | # | # | $a Каунас $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 10-18 (22 назв.). Для служеб. пользований |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Пранявичене $b Г. Б. $g Гене Бонифацовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |