Технология гетерогенного синтеза диэлектрических пленок на поверхности кремния в реактивной газовой среде с управляемым ионным облучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пранявичене, Г. Б. |
| Опубликовано: | Каунас , 1986 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||