Исследование радиоволновых измерительных преобразователей и разработка приборов контроля параметров тонкопленочных проводящих структур в вакуумных установках: (05.11.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Всесоюз. заоч. машиностроит. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Порис, У. Р. |
Опубликовано: | М. , 1987 |
Физические характеристики: |
16 с. : схем.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|