Вторично-ионный анализ материалов и структур электронной техники с управлением газовой средой в зоне анализа: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.02) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. Ф. |
| Опубликовано: | Л. , 1991 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28683320000 | ||
| 005 | 20070529182406.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Вторично-ионный анализ материалов и структур электронной техники с управлением газовой средой в зоне анализа $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.27.02) $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 24-27 (41 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попов $b В. Ф. $g Владимир Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |