Вторично-ионный анализ материалов и структур электронной техники с управлением газовой средой в зоне анализа: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.02) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. Ф. |
| Опубликовано: | Л. , 1991 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||