Исследование процесса автоэпитаксии кремния при конденсации из молекулярных пучков в вакууме: (355): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1970 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||