Технология формирования и электрические характеристики тонкого термического окисла на кремнии и поликристаллическом кремнии для СБИС МОП ППЗУ: (95.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перов, Г. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28054570000 | ||
| 005 | 20070522154147.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [92-2827а] |
| 100 | # | # | $a 20070522d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Технология формирования и электрические характеристики тонкого термического окисла на кремнии и поликристаллическом кремнии для СБИС МОП ППЗУ $e (95.27.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-24 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 95.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Перов $b Г. В. $g Геннадий Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |