Технология формирования и электрические характеристики тонкого термического окисла на кремнии и поликристаллическом кремнии для СБИС МОП ППЗУ: (95.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перов, Г. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||