Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом ВЧ-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Ом. НИИ приборостроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перелигии, И. З. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28025040000 | ||
| 005 | 20070522153214.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070522d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом ВЧ-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Ом. НИИ приборостроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 30 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 27-30 (23 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Перелигии $b И. З. $g Игорь Захарович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |