Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом ВЧ-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Ом. НИИ приборостроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перелигии, И. З. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||