Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Патратьев, А. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1966 |
| Физические характеристики: |
23 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr27929640000 | ||
| 005 | 20070522150901.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [66-98918] |
| 100 | # | # | $a 20070522d1966 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Моск. ин-т электронного машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1966 |
| 215 | # | # | $a 23 с. $c черт. |
| 700 | # | 1 | $a Патратьев $b А. Г. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |