Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Патратьев, А. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1966 |
| Физические характеристики: |
23 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||