|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27866400000 |
| 005 |
20071221124630.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [78-89709]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1978 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы, методы и средства контроля процессов образования полупроводниковых и диэлектрических структур
$e Тез. докл.
$f III межвед. совещ. по метрике полупроводников, г. Саратов, 26-28 окт. 1978 г.
|
| 210 |
# |
# |
$a Саратов
$c [Б. и.]
$d 1978
|
| 215 |
# |
# |
$a 89 с.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Сарат. обл. правл. НТО РЭС им. А. С. Попова, Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского, Сарат. обл. дом техники НТО
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Получение - Тезисы докладов
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение - Тезисы докладов
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(063)
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Межведомственное совещание по метрике полупроводников, 3-е. Саратов. 1978
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
