|
|
|
|
|
00000cam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27866330000 |
| 005 |
20150718085936.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р. 50 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y|||||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы лазерной микротехнологии
$e [сборник статей]
$f под редакцией: Н. И. Коротеев, В. Я. Панченко
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ВИНИТИ
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 160, [2] с.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Итоги науки и техники
$i Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии
$f Государственный комитет СССР по науке и технике, Академия наук СССР, Всесоюзный институт научной и технической информации
$x 0235-229X
$v т. 3
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 345 |
# |
# |
$9 675 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br134769
$1 2001
$v Т. 3
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Лазерная обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.373.826
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-a185995
$a Коротеев
$b Н. И.
$g Николай Иванович
$c доктор физико-математических наук
$f 1947—1998
$4 340
|
| 702 |
# |
1 |
$a Панченко
$b В. Я.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150512
$g psbo
|
