|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27842600000 |
| 005 |
20170106122155.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-38670]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические процессы в микроэлектронике
$e Сб. науч. тр.
$f Моск. ин-т тон. хим. технологии
$g [Отв. ред. В. Б. Уфимцев]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИТХТ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 366, [1] с., [1] л. ил.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 650 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство - Физико-химические процессы - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002:541.1(082)
|
| 702 |
# |
1 |
$a Уфимцев
$b В. Б.
$g Всеволод Борисович
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т тонкой хим. технологии
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
