Физико-химические процессы в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИТХТ , 1990 |
| Физические характеристики: |
366, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||