|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27484300000 |
| 005 |
20071220122923.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 47 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [73-2957]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1972 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
$f АН СССР. Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c «Наука», Ленингр. отд-ние
$d 1972
|
| 215 |
# |
# |
$a 114 с.
$c черт.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 107-113 (108 назв.). На обороте тит. л. авт.: А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др.
|
| 345 |
# |
# |
$9 4000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002
|
| 701 |
# |
1 |
$a Борисенко
$b А. И.
$g Анатолий Исидорович
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова. Ленинград
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
