Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / АН СССР. Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. : «Наука», Ленингр. отд-ние , 1972 |
| Физические характеристики: |
114 с. : черт. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||