|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27348630000 |
| 005 |
20071220131351.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 55 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-102640]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1977 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем
$e Учеб. пособие
$f [Игнатьев В. В., Дикушин В. В., Сербинов Д. Н. и др.]
$g Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
$g Под ред. канд. техн. наук, доц. В. В. Игнатьева
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c ЛЭТИ
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 89 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 88 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 600 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.776.002(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Игнатьев
$b В. В.
$g Всеволод Валентинович
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Ленинградский электротехнический ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
