Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем: Учеб. пособие / [Игнатьев В. В., Дикушин В. В., Сербинов Д. Н. и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: АУД557235, МД6305,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Л. : ЛЭТИ , 1977
Физические характеристики: 89 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АУД557235 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:2:5:130 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал
МД6305 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:3:4:145 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал