Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем: Учеб. пособие / [Игнатьев В. В., Дикушин В. В., Сербинов Д. Н. и др.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Л. : ЛЭТИ , 1977 |
Физические характеристики: |
89 с. : ил. ; 20 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|