|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26246210000 |
| 005 |
20211104111331.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 45 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-22128]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1981 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Сборник научных трудов «Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике»
$f Моск. ин-т электрон. техники
$g [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 151 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце работ
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронная технология - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 702 |
# |
1 |
$a Блинов
$b И. Г.
$g Иван Григорьевич
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т электронной техники
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
