Сборник научных трудов «Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике» / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1981 |
| Физические характеристики: |
151 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||