|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr25759980000 |
| 005 |
20071204142111.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-20397]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071204d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Расчеты и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники
$e (Учеб. пособие)
$f [Е. В. Николаевский, В. М. Редин, А. И. Погалов и др.]
$g Под ред. В. З. Гребенкина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 111 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 109 (12 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 800 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронная промышленность, предприятия - Оборудование - Конструкция и расчет
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.5.001.63(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Николаевский
$b Е. В.
|
| 702 |
# |
1 |
$a Гребенкин
$b В. З.
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т электронной техники
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071204
$g psbo
|
