Расчеты и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники: (Учеб. пособие) / [Е. В. Николаевский, В. М. Редин, А. И. Погалов и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1983 |
| Физические характеристики: |
111 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||