|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr25743560000 |
| 005 |
20191203102057.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-36948]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071203d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Расчет и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники по критерию привносимой дефектности
$e Материалы к 3-й науч.-техн. конф. «Экология микроэлектроники-90»
$f В. З. Гребенкин, В. М. Редин, Е. А. Сахаров и др.
$g Моск. ин-т электрон. техники
$g Под ред. В. З. Гребенкина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 113 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 111-112 (10 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 360 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство - Технологическое проектирование
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.512
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гребенкин
$b В. З.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071203
$g psbo
|
