Расчет и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники по критерию привносимой дефектности: Материалы к 3-й науч.-техн. конф. «Экология микроэлектроники-90» / В. З. Гребенкин, В. М. Редин, Е. А. Сахаров и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1990 |
| Физические характеристики: |
113 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||