Прецизионная фотолитография: Метод. разраб. для подготовки рабочих кадров с помощью контролирующих устройств "Эврика" и "Эпос" / М-во электр. пром-сти СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
167 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr25067270000 | ||
| 005 | 20170130101716.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [86-65435] |
| 100 | # | # | $a 20071203d1986 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Прецизионная фотолитография $e Метод. разраб. для подготовки рабочих кадров с помощью контролирующих устройств "Эврика" и "Эпос" $f М-во электр. пром-сти СССР $g Сост. Т. Н. Багаева |
| 210 | # | # | $a М. $c ЦНИИ "Электроника" $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 167 с. $c рис. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 163 (8 назв.) |
| 610 | 0 | # | $a Фотолитография - Метод. пособия |
| 675 | # | # | $a 776:681.3(07.07) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071203 $g psbo |