Прецизионная фотолитография: Метод. разраб. для подготовки рабочих кадров с помощью контролирующих устройств "Эврика" и "Эпос" / М-во электр. пром-сти СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
167 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||