Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана / [И. В. Гранков, В. М. Гуревич, Л. Н. Демин, Ю. В. Юшков]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : Цветметинформация , 1976 |
| Физические характеристики: |
52 с. : граф. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзорная информация: Серия «Производство редких металлов»
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||