Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана / [И. В. Гранков, В. М. Гуревич, Л. Н. Демин, Ю. В. Юшков]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. : Цветметинформация , 1976 |
Физические характеристики: |
52 с. : граф. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзорная информация: Серия «Производство редких металлов»
|
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|