|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr24866720000 |
| 005 |
20071203155850.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-464]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071203d1976 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана
$f [И. В. Гранков, В. М. Гуревич, Л. Н. Демин, Ю. В. Юшков]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Цветметинформация
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 52 с.
$c граф.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Обзорная информация: Серия «Производство редких металлов»
$f Центр. науч.-исслед. ин-т информации и техн.-экон. исследований цвет. металлургии
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 44-49 (68 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 390 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые пленки - Получение - Обзоры литературы информационные
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний - Кристаллы - Рост - Обзоры литературы информационные
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002(048.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гранков
$b И. В.
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Центральный науч.-исслед. ин-т информации и техн.-экономических исследований цветной металлургии. Москва
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071203
$g psbo
|
