Методы получения аморфных пленок кремния / [Сост. В. С. Орлов и др.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. : НИИТЭхим , 1987 |
Физические характеристики: |
61, [1] с. : ил. ; 20 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Хим. пром-сть: Обзор. информ. Сер. «Элементоорган. соединения и их применение»
|
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|